1.無油干式機(jī)械真空泵：是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。 

2.水環(huán)真空泵：水環(huán)真空泵內(nèi)裝有帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子，是將水（液體）拋向定子壁，水（液）成與定子同心的液環(huán)，液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。

3.羅茨真空泵：是指泵內(nèi)裝有相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?/span>

4.真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度，通常用真空度表述。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對壓強(qiáng)，即：真空度=大氣壓強(qiáng)-絕對壓強(qiáng)，絕對壓強(qiáng)=大氣壓強(qiáng)+表壓。

5.真空度單位

通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱。

Pa：帕斯卡是國際單位制中表示壓強(qiáng)的基本單位，簡稱帕。符號Pa。為紀(jì)念法國物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。

6. 流量

單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q"表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7.流導(dǎo)

表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號記作“U"。 U=Q/(P2- P1)

8.抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）

9. 真空計：是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

10.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號：（Atm）。1大氣壓=760mmHg =101325Pa

11.飽和蒸汽壓力：在密閉條件中，在一定溫度下，與固體或液體處于相平衡的蒸汽所具有的壓力稱為飽和蒸汽壓力。