單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計使布魯克bruker輪廓儀更堅固，從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT升級的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量<10nm臺階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。

 

布魯克的Vision64軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到DektakXT的創(chuàng)新設(shè)計。智能架構(gòu)和可自定義自動化功能相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結(jié)果進(jìn)行分析，還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計算，DektakXT的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果，同時顯示其他可能的分析工具。

 

測量部分包括檢測器、驅(qū)動部、測量臺立柱、測量臺基座、除振臺、架臺等。

 

⑴測量臺基架：用來安裝需要測量的工件。

 

⑵測量臺柱桿：使探針上下移動。

 

⑶柱桿手動旋鈕：手動使探針上下移動。

 

⑷測量面板：用于操作測量部分。

 

⑸驅(qū)動部分：將探針沿著測量方向驅(qū)動的裝置。

 

⑹驅(qū)動方向指示燈：驅(qū)動方向側(cè)指示燈亮燈。

 

⑺驅(qū)動部分手動旋鈕：用手動方法進(jìn)行傳感器的左右移動。

 

⑻驅(qū)動部分手動旋鈕切換開關(guān)：按下此開關(guān)，便可切換驅(qū)動部分的手動旋鈕的有效、無效。

 

⑼檢測器：用來獲取Z軸形狀數(shù)據(jù)。

 

⑽探針桿：用來安裝探針。

 

⑾探針：用來探測工件表面。

 

⑿測量力調(diào)整配重：為了調(diào)整測量力大小的配重。

 

⒀測量力微調(diào)緊固螺釘：用于調(diào)整測量力調(diào)整平衡塊的平衡螺釘。

 

操作使用步驟：

 

①將測量力調(diào)整配重的對刻度面與本體針桿的刻度中央位置對齊。

 

②使平衡塊向左右方向移動，將觸針懸臂調(diào)整至平衡（向前移動4小格），在此狀態(tài)下測量力為零，此時觀察Z值接近于零即可，一般不可能達(dá)到絕對零。

 

③向下方向測量時，請將測量力調(diào)整配重向左移動一個刻度，測量力將變成10毫牛。

 

④向上方向測量時，請將測量力調(diào)整配重向右移動一個刻度，測量力將變成10毫牛。

 

注：1.通常的測量以10毫牛的測量力進(jìn)行。

 

2.標(biāo)準(zhǔn)針桿和長度不同的針桿，其測量力與刻度都不同