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賽默飛X射線衍射儀是一種高級科學(xué)儀器,用于研究材料的晶體結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。其中的X射線來源于X射線管,X射線管是一種產(chǎn)生X射線的裝置,其工作原理是通過高速移動(dòng)的電子與金屬靶碰撞產(chǎn)生X射線。賽默飛X射線衍射儀的基本工作原理如下:X射線管的主要部件包括陰極、陽極和真空室。陰極通常由鎢絲制成,當(dāng)陰極受到加熱時(shí),釋放出大量的電子。這些電子被加速器加速,并射向陽極。陽極是一......
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等離子去膠法,去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中,通入少量氧氣,加1500V高壓,由高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號,使石英管內(nèi)形成強(qiáng)的電磁場,使氧氣電離,形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱。活化氧(活潑的原子態(tài)氧)可以迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體,被機(jī)械泵抽走,這樣......
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等離子去膠機(jī)是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,主要用于光刻膠的剝離或灰化,也可用于有機(jī)及無機(jī)殘留物的去除,去除殘膠以及等離子刻蝕的應(yīng)用,清洗微電子元件、電路板上鉆孔或銅線框架,提高黏附性等,它的設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小,設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定可靠、易于維護(hù)、產(chǎn)能高。它的工藝簡單、效率高,處理后無酸氣廢水等殘留......
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等離子刻蝕機(jī),又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時(shí),會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材......
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X射線光電子能譜分析X射線光電子能譜法(X-rayPhotoelectronSpectrom-----XPS)在表面分析領(lǐng)域中是一種嶄新的方法。雖然用X射線照射固體材料并測量由此引起的電子動(dòng)能的分布早在本世紀(jì)初就有報(bào)道,但當(dāng)時(shí)可達(dá)到的分辯率還不足以觀測到光電子能譜上的實(shí)際光峰。直到1958年,以Siegbahn為首的一......