控制系統(tǒng)

手動控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

單體導(dǎo)入

H2O，親疏水涂層等單體（選配）

流量計

針閥流量計（防腐蝕）

MFC流量計（防腐蝕）

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃/石英

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

不銹鋼

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

鋁合金腔體

鉸鏈門

圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm

240×400(600) *1

267×420（600）*1mm

—

方形腔體內(nèi)尺寸  （W×D×H）mm

—

240×420（600）*1×240mm

240×420（600）*1×240

容積

18L~27L

24L~34L

24L~34L

電極

360度外置環(huán)繞電極

平行平板電極

發(fā)生器*

100 kHz   0-500W

80 kHz    0-1000W

13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W

2.45 GHz  0-600W

真空壓力計

指針式壓力計

皮拉尼數(shù)字式壓力計

計時器

模擬數(shù)字式

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃（石英選配），不銹鋼

外形尺寸（WXDxH）mm

560x600-750x600-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于16m3/H